奧林巴斯金相光學(xué)顯微鏡

奧林巴斯金相光學(xué)顯微鏡

為工業(yè)和材料學(xué)應(yīng)用而設(shè)計(jì)

奧林巴斯金相顯微鏡BX53M系列采用了模塊化設(shè)計(jì)，為廣泛的材料學(xué)和工業(yè)應(yīng)用提供了多樣化的解決方案。BX3M增強(qiáng)了與奧林巴斯Stream軟件的集成性，從而為常規(guī)顯微鏡檢查和數(shù)碼成像用戶(hù)提供了從觀(guān)察到報(bào)告創(chuàng)建的無(wú)縫工作流程。

高級(jí)的顯微觀(guān)察 便捷的顯微操作

用戶(hù)友好性

· 讓傳統(tǒng)技術(shù)易于操作：簡(jiǎn)單的照明器

· 直觀(guān)的顯微鏡控制：視場(chǎng)光闌和孔徑光闌的簡(jiǎn)單設(shè)置

· 快速找到焦點(diǎn)：對(duì)焦刻度標(biāo)尺

· 一致的照明：智能光強(qiáng)管理

· 方便而人性化的操作

· 可恢復(fù)顯微鏡設(shè)置：編碼硬件

· 基本測(cè)量功能

功能性

· 讓未見(jiàn)變?yōu)榭梢?jiàn)：MIX觀(guān)察

· 創(chuàng)建超景深圖像：EFI

· 輕松移動(dòng)載物臺(tái)即可進(jìn)行全景拍攝：即時(shí)MIA

· 同時(shí)捕捉高光和暗調(diào)區(qū)域的細(xì)節(jié)：HDR

· 可調(diào)整滿(mǎn)足觀(guān)察和分析的偏好要求

· 容納各類(lèi)樣品

精密的光學(xué)元件

· 的光學(xué)性能：波像差控制

· 穩(wěn)定的色溫和高強(qiáng)度白光LED照明

· 支持精密測(cè)量：自動(dòng)校準(zhǔn)

· 無(wú)縫拼接：圖像陰影校正

全面可定制性

· 可滿(mǎn)足用戶(hù)要求的各種配置

· 模塊化設(shè)計(jì)，構(gòu)建自己的系統(tǒng)

直觀(guān)的顯微鏡控制

顯微檢查任務(wù)常常需要用很長(zhǎng)的時(shí)間來(lái)調(diào)節(jié)顯微鏡設(shè)置、獲取圖像，以及進(jìn)行必要的測(cè)量，從而得到令人滿(mǎn)意的報(bào)告。用戶(hù)有時(shí)需要投入時(shí)間和金錢(qián)去完成專(zhuān)業(yè)的顯微鏡培訓(xùn)，或只了解了顯微鏡全部功能的很小部分就開(kāi)展工作。

奧林巴斯工業(yè)顯微鏡BX53M通過(guò)其優(yōu)良的設(shè)計(jì)和便捷的控制功能，簡(jiǎn)化了復(fù)雜的顯微檢查任務(wù)。用戶(hù)不需要長(zhǎng)時(shí)間的培訓(xùn)即可掌握顯微鏡的大多數(shù)功能。BX53M方便而舒適的操作還改善了圖像的再現(xiàn)性，大程度減少了人為錯(cuò)誤。

舒適且便于使用

讓傳統(tǒng)技術(shù)易于操作：簡(jiǎn)單的照明器

照明器的設(shè)計(jì)大程度減少了顯微鏡操作過(guò)程中所必須的復(fù)雜操作。 照明器前端的旋鈕使用戶(hù)能夠輕松地改變觀(guān)察方法。操作者可以在反射光顯微鏡檢查時(shí)快速切換常用的觀(guān)察方法，比如從明場(chǎng)觀(guān)察到暗場(chǎng)觀(guān)察，到偏光觀(guān)察，以隨時(shí)改變不同類(lèi)型的分析。此外，可以旋轉(zhuǎn)檢偏鏡來(lái)實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單偏光觀(guān)察的調(diào)節(jié)。

操作者能夠在經(jīng)常使用的觀(guān)察方法之間快速切換（AlSi的拋光態(tài)樣品）

直觀(guān)的顯微鏡控制：視場(chǎng)光闌和孔徑光闌的簡(jiǎn)單設(shè)置

使用正確的孔徑光闌和視場(chǎng)光闌設(shè)置能夠獲得良好的圖像對(duì)比度，還可以充分利用物鏡的數(shù)值孔徑。指示標(biāo)志可引導(dǎo)用戶(hù)根據(jù)觀(guān)察方法和所用物鏡進(jìn)行正確的設(shè)置。

快速找到焦點(diǎn)：對(duì)焦刻度標(biāo)尺

機(jī)架上的對(duì)焦刻度標(biāo)尺可以讓操作者快速鎖定焦點(diǎn)。操作者不用通過(guò)目鏡查看樣品就可以大致地對(duì)準(zhǔn)焦點(diǎn)，從而在檢查具有不同高度的樣品時(shí)節(jié)省了時(shí)間。

一致的照明：智能光強(qiáng)管理

在初始設(shè)定時(shí)，可以調(diào)節(jié)照明強(qiáng)度，使其與編碼照明器和/或編碼物鏡轉(zhuǎn)換器的特定硬件配置匹配。

傳統(tǒng)的光強(qiáng) 

傳統(tǒng)顯微鏡中，提高了放大倍率，以及使用需要更多光線(xiàn)的觀(guān)察方法后，圖像會(huì)變得更暗。

智能光強(qiáng)管理

改變放大倍率或觀(guān)察方法時(shí)，顯微鏡自動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)到正確值。

方便而人性化的操作

人性化設(shè)計(jì)對(duì)所有用戶(hù)都至關(guān)重要。無(wú)論是單機(jī)顯微鏡用戶(hù)，還是集成了奧林巴斯Stream圖像分析軟件的顯微鏡系統(tǒng)用戶(hù)，都能得益于可以清晰顯示顯微鏡編碼型硬件位置的人性化操作設(shè)計(jì)的手動(dòng)控制器。簡(jiǎn)單的手動(dòng)開(kāi)關(guān)讓用戶(hù)能夠?qū)Ｗ⒂跇悠泛蜋z查工作本身。

用于旋轉(zhuǎn)電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的手動(dòng)開(kāi)關(guān)      手動(dòng)控制器                    曝光按鈕

可恢復(fù)顯微鏡設(shè)置：編碼硬件

BX53M采用了新的編碼功能，將顯微鏡的硬件設(shè)置與奧林巴斯Stream圖像分析軟件整合在一起。觀(guān)察方法、照明強(qiáng)度和物鏡位置全都記錄在軟件和/或手動(dòng)控制器里。編碼功能可實(shí)現(xiàn)顯微鏡設(shè)置與每幅圖像一起自動(dòng)保存，從而可輕松完成此后的還原設(shè)置，以及為報(bào)表提供文檔記錄。既節(jié)省了操作者的時(shí)間，又大程度地減小了使用不正確設(shè)置的概率。當(dāng)前的觀(guān)察設(shè)置總是清晰地顯示在手動(dòng)控制器和軟件上。

針對(duì)各種檢查和分析任務(wù)的功能

BX53M保留了常規(guī)顯微鏡檢查的傳統(tǒng)襯度對(duì)比法，比如明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光和微分干涉。隨著新材料的發(fā)展，現(xiàn)在可以使用*的顯微鏡檢查技術(shù)來(lái)進(jìn)行更精確和更可靠的檢查，從而解決了以往很多使用傳統(tǒng)襯度對(duì)比法檢查時(shí)遇到的缺陷檢測(cè)方面的困難。新的照明技術(shù)和奧林巴斯Stream圖像分析軟件內(nèi)的圖像獲取選項(xiàng)為用戶(hù)提供了評(píng)估樣品、文檔記錄的更多選擇。

此外，BX3M還可用于比傳統(tǒng)型號(hào)更大、更重、更特殊的樣品。

MIX觀(guān)察：讓未見(jiàn)變?yōu)榭梢?jiàn)

BX3M的MIX觀(guān)察技術(shù)組合了明場(chǎng)和暗場(chǎng)照明方法。MIX照明滑塊中的LED光源，以定向暗場(chǎng)光線(xiàn)照射樣品。這種方式類(lèi)似于傳統(tǒng)暗場(chǎng)照明，但又可為L(zhǎng)ED的不同角度光線(xiàn)照射提供四分象限選擇功能。這種定向暗場(chǎng)與明場(chǎng)、熒光、或偏光的組合稱(chēng)為MIX照明，有助于突出顯示缺陷和區(qū)分隆起與凹陷表面。

傳統(tǒng)的

明場(chǎng)將光線(xiàn)直接照射在樣品上，暗場(chǎng)則使光線(xiàn)沿物鏡的周?chē)鷱膫?cè)面照射樣品，突出顯示了劃痕和缺陷。

*的

MIX觀(guān)察是通過(guò)一個(gè)環(huán)形LED光源來(lái)形成明場(chǎng)、熒光或偏光與定向暗場(chǎng)的組合?？梢哉{(diào)節(jié)LED光源，選擇從哪個(gè)方向進(jìn)行照明。該方法可在傳統(tǒng)方法無(wú)法觀(guān)察的表面上獲得*的對(duì)比度并可突出表面特征。

即時(shí)MIA：輕松移動(dòng)載物臺(tái)即可進(jìn)行全景拍攝

現(xiàn)在不需要電動(dòng)載物臺(tái)，僅僅移動(dòng)手動(dòng)載物臺(tái)上XY旋鈕即可方便而快捷地拼接圖像。奧林巴斯Stream軟件采用圖案識(shí)別技術(shù)來(lái)生成全景圖像，為用戶(hù)提供了比單一畫(huà)面更廣闊的視野。

一枚硬幣的即時(shí)MIA圖像。

EFI：創(chuàng)建超景深圖像

奧林巴斯Stream軟件的景深擴(kuò)展成像（EFI）功能能夠獲取高度超過(guò)物鏡焦深的樣品圖像，把通過(guò)不同焦面的圖像疊加在一起，創(chuàng)建出一幅超景深圖像?？梢允褂檬謩?dòng)或電動(dòng)Z軸機(jī)構(gòu)來(lái)執(zhí)行EFI，并可創(chuàng)建一幅高度圖，以輕松地識(shí)別樣品結(jié)構(gòu)。也可以用Stream桌面版在離線(xiàn)時(shí)創(chuàng)建EFI圖像。

HDR：同時(shí)捕捉高光和暗調(diào)區(qū)域的細(xì)節(jié)

高動(dòng)態(tài)范圍（HDR）使用了*的圖像處理技術(shù)，能夠針對(duì)一幅圖像內(nèi)的亮度差異進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而減少了眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺(jué)效果，從而為用戶(hù)制作報(bào)告時(shí)提供專(zhuān)業(yè)完美的圖像。

借助HDR功能，同時(shí)清晰呈現(xiàn)出高光和暗調(diào)區(qū)域的細(xì)節(jié)
（樣品：燃油噴射器）

借助HDR功能，增強(qiáng)了對(duì)比度
（樣品：鎂切片）

*的測(cè)量

常規(guī)或基礎(chǔ)測(cè)量功能

通過(guò)奧林巴斯Stream軟件可以實(shí)現(xiàn)多種測(cè)量功能，從而使用戶(hù)可以很輕松地從圖像中獲取有用的數(shù)據(jù)。在質(zhì)量控制和檢查時(shí)常常需要對(duì)圖像進(jìn)行測(cè)量。所有級(jí)別的奧林巴斯Stream 授權(quán)軟件都包括了交互式的測(cè)量功能，比如距離、角度、矩形、圓、橢圓和多邊形。所有測(cè)量結(jié)果都與圖像文件一起保存，用于今后的文件檢索。

計(jì)數(shù)和測(cè)量

目標(biāo)探測(cè)和尺寸分布測(cè)量，是數(shù)碼圖像中重要的應(yīng)用。Stream軟件使用閾值分割方法進(jìn)行目標(biāo)探測(cè)，能夠可靠地從背景中分離目標(biāo)（比如顆粒、劃痕）。

材料解決方案

奧林巴斯Stream軟件提供了基于工作流程的直觀(guān)界面，可用于復(fù)雜的圖像分析。點(diǎn)擊按鈕即可快速、精確地執(zhí)行復(fù)雜的圖像分析任務(wù)，并且符合常用的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。由于明顯減少了重復(fù)任務(wù)的處理時(shí)間，因此材料學(xué)家們可以專(zhuān)注于分析和研究。還能夠在任何時(shí)候方便地添加用于夾雜物和標(biāo)準(zhǔn)評(píng)級(jí)圖對(duì)比的模塊化插件。

3D測(cè)量

使用外部電動(dòng)對(duì)焦機(jī)構(gòu)時(shí)，可以快速獲取EFI圖像，并以3D視圖顯示。獲取的高度數(shù)據(jù)可用于剖面上的3D測(cè)量，或通過(guò)單視圖進(jìn)行3D測(cè)量。

3D表面視圖（粗糙度試驗(yàn)樣品）            單視圖和3D剖面測(cè)量

容納各類(lèi)樣品

可以容納更多的樣品類(lèi)型和尺寸

新型150×100mm載物臺(tái)在X方向上提供了比以前的型號(hào)更大的行程。再加上其載物臺(tái)板的平板式設(shè)計(jì)，可以輕松地將大樣品，或多個(gè)樣品放置在載物臺(tái)上。載物臺(tái)板上開(kāi)有小孔，可用于固定樣品架。更大的載物臺(tái)為用戶(hù)提供了靈活性，使他們能夠在一臺(tái)顯微鏡上檢查更多的樣品，從而節(jié)省了寶貴的實(shí)驗(yàn)室空間?？烧{(diào)節(jié)扭力的載物臺(tái)方便了高倍下窄視野的微調(diào)定位。

樣品高度和重量的高適應(yīng)性

BX53MRF-S

使用選配的模塊組件可以將高105mm的樣品放置在載物臺(tái)上。由于改進(jìn)了調(diào)焦機(jī)構(gòu)，因此顯微鏡可以容納重6kg的總重量（樣品+載物臺(tái)）。這就意味著B(niǎo)X3M可以檢查更大、更重的樣品，從而減少了實(shí)驗(yàn)室內(nèi)所需的顯微鏡數(shù)量。通過(guò)戰(zhàn)略性地將用于6英寸晶圓的旋轉(zhuǎn)托架放置在偏離中心的位置，在100mm行程范圍內(nèi)移動(dòng)時(shí)，用戶(hù)僅旋轉(zhuǎn)晶圓托架即可觀(guān)察整個(gè)晶圓表面。優(yōu)化了載物臺(tái)的扭力調(diào)節(jié)，以便于使用，舒適的手柄使用戶(hù)更易于找到樣品的感興趣區(qū)域。

樣品尺寸大小的靈活性

BXFM

如果樣品太大，難以放置在常規(guī)顯微鏡載物臺(tái)上，則可以把用于反射光顯微鏡觀(guān)察的核心光學(xué)部件組裝到一個(gè)模塊化的系統(tǒng)里。這種模塊化系統(tǒng)，就是BXFM，它可以通過(guò)一個(gè)支撐桿安裝在更大的支架上，或使用安裝托架安裝在另一臺(tái)儀器上。這就使用戶(hù)能夠充分利用奧林巴斯優(yōu)異的光學(xué)元件的優(yōu)勢(shì)，即使其樣品在尺寸或形狀上都很*。

兼容ESD：保護(hù)電子裝置，防止受到靜電放電的影響

BX3M具有ESD靜電消除能力，防止電子裝置受到由人為或環(huán)境因素而導(dǎo)致的靜電的影響。

悠久歷史的光學(xué)技術(shù)

奧林巴斯公司擁有高品質(zhì)光學(xué)儀器研發(fā)的悠久歷史，創(chuàng)造了多項(xiàng)光學(xué)質(zhì)量的記錄，保證了顯微鏡優(yōu)異的測(cè)量精度。

的光學(xué)性能：波像差控制

使用顯微鏡進(jìn)行高級(jí)研究或系統(tǒng)集成時(shí)，所有物鏡的光學(xué)性能必須標(biāo)準(zhǔn)化。奧林巴斯的UIS2物鏡提供了波像差控制，大程度減小了會(huì)降低分辨率的像差，從而獲得的數(shù)值孔徑（NA）和工作距離（WD）性能指標(biāo)。

穩(wěn)定的色溫和高強(qiáng)度白光LED照明

BX3M為反射光和透射光照明提供了高強(qiáng)度的白光LED光源。無(wú)論強(qiáng)度是多少，LED都保持著一致的色溫。LED提供了高效而長(zhǎng)壽命的照明，是材料學(xué)檢測(cè)應(yīng)用的理想工具。

 
通過(guò)鹵素?zé)臬@得的高光強(qiáng)和低光強(qiáng)        通過(guò)LED獲得的高光強(qiáng)和低光強(qiáng)

支持精密測(cè)量：自動(dòng)校準(zhǔn)

類(lèi)似于數(shù)碼顯微鏡，使用奧林巴斯Stream軟件時(shí)也能夠?qū)嵤┳詣?dòng)校準(zhǔn)。自動(dòng)校準(zhǔn)消除了校準(zhǔn)過(guò)程中的人為變化因素，能夠獲得更可靠的測(cè)量結(jié)果。自動(dòng)校準(zhǔn)的算法采用多個(gè)測(cè)量點(diǎn)的平均值來(lái)自動(dòng)計(jì)算正確的校準(zhǔn)量。這就大程度減小了不同操作者產(chǎn)生的差異，保持了一致的精確性，提高了定期驗(yàn)證的可靠性。

無(wú)縫拼接：圖像陰影校正

可以用奧林巴斯Stream軟件完成陰影校正，以補(bǔ)償圖像角落四周的陰影。使用光強(qiáng)閾值設(shè)置時(shí)，陰影校正提供了更精確的分析。此外，使用MIA拼接圖像時(shí)，可以獲得更均勻的全景圖像。

1 x 3 MIA圖像 (示例:薄膜濾色片上的殘留)

左側(cè)圖片：圖像拼接時(shí)，原始圖像拼接處有陰影 
右側(cè)圖片：陰影校正后，整個(gè)視野照明均勻

應(yīng)用

反射光顯微鏡檢查涵蓋的應(yīng)用和行業(yè)非常廣泛，下面僅選擇了使用不同觀(guān)察方法效果的部分示例。

暗場(chǎng)觀(guān)察

暗場(chǎng)能夠觀(guān)察標(biāo)本上的散射或衍射光。任何不平整的部位都會(huì)反射這種光，而平整的部位則顯得很暗，因此缺陷部位就會(huì)清晰地顯示出來(lái)。用戶(hù)甚至可以識(shí)別出極細(xì)微的劃痕，或小到8nm級(jí)別的缺陷 – 比光學(xué)顯微鏡的分辨能力還要小。因此，暗場(chǎng)是檢測(cè)標(biāo)本上細(xì)微劃痕或缺陷，以及鏡面標(biāo)本（包括晶圓）的理想工具。

表面貼裝基板：DF

微分干涉觀(guān)察

微分干涉是一種顯微鏡觀(guān)察技術(shù)，這種技術(shù)把明場(chǎng)觀(guān)察所不能檢測(cè)到的標(biāo)本高度差，變?yōu)楦〉駹罨蛉S圖像，改善了圖像襯度。該技術(shù)使用了偏光，并有三種專(zhuān)門(mén)定制設(shè)計(jì)的棱鏡可以選擇。它是檢查具有極細(xì)微高度差的標(biāo)本的理想工具，包括金相組織、礦石、磁頭、硬盤(pán)介質(zhì)和拋光晶圓表面。

球墨鑄鐵檢測(cè)：DIC

偏光觀(guān)察

這種顯微鏡觀(guān)察技術(shù)使用了由一套濾色片（檢偏鏡和起偏鏡）產(chǎn)生的偏光。標(biāo)本的特性直接影響顯微鏡反射光的強(qiáng)度。這種技術(shù)適用于金相組織（比如球墨鑄鐵上石墨生長(zhǎng)的形態(tài)）、礦石、LCD和半導(dǎo)體材料。

絹云母：POL

熒光

該技術(shù)用于通過(guò)濾色片激發(fā)塊照明，使標(biāo)本能夠發(fā)出熒光（發(fā)出不同波長(zhǎng)的光），特定的激發(fā)塊可用于特定的應(yīng)用。它適合于檢查半導(dǎo)體晶圓上的異物、光阻殘留物，以及通過(guò)熒光染料檢測(cè)裂縫。可以選配復(fù)消色差集光鏡系統(tǒng)的燈箱，以補(bǔ)償從可見(jiàn)光到近紅外光的色差。

半導(dǎo)體晶圓上的顆粒異物：FL

紅外光

IR觀(guān)察是非破壞性地檢查可以透過(guò)紅外光的硅材料或玻璃材料構(gòu)成的電子元器件內(nèi)部的方法。

電極切片：IR

透射光觀(guān)察

對(duì)于透明樣品，比如LCD、塑料和玻璃材料，可以使用各種聚光鏡進(jìn)行透射光觀(guān)察。組建一個(gè)光學(xué)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)透射光明場(chǎng)和偏光進(jìn)行樣品檢查非常方便。

*系統(tǒng)化

模塊化的設(shè)計(jì)能夠?qū)崿F(xiàn)多種配置，以滿(mǎn)足用戶(hù)的各種要求。

用于材料學(xué)的配置

BX53M反射和反射/透射觀(guān)察

BX53M IR觀(guān)察

BX3M系列有兩種顯微鏡機(jī)架，一種僅用于反射光，一種用于反射光和透射光組合。兩種機(jī)架都可配置手動(dòng)、編碼或電動(dòng)部件，并且都配備有ESD防靜電功能。

BX53MRF-S配置圖例         BX53MTRF-S配置圖例

BX53M IR觀(guān)察

BX3M系列有兩種顯微鏡機(jī)架，一種僅用于反射光，一種用于反射光和透射光組合。兩種機(jī)架都可配置手動(dòng)、編碼或電動(dòng)部件，并且都配備有ESD防靜電功能。IR物鏡可用于透過(guò)硅材料成像，進(jìn)行半導(dǎo)體檢查和測(cè)量。配備了5倍到100倍紅外（IR）物鏡，提供了從可見(jiàn)光波長(zhǎng)到近紅外的像差校正。對(duì)于高放大倍率的物鏡，配備了LCPLN-IR系列帶校正環(huán)的物鏡，校正由樣品厚度導(dǎo)致的像差。使用一個(gè)物鏡即可獲取清晰的圖像。

*1 孔徑光闌全開(kāi)時(shí)計(jì)算的分辨率

*2 高到FN22，不適用于FN26.5

*3 使用1100nm波長(zhǎng)

IR物鏡           無(wú)校正環(huán)    有校正環(huán)

BX53M偏光觀(guān)察

BX53M偏光顯微鏡具有鮮明的偏光成像，是地質(zhì)學(xué)家的理想之選。比如礦物鑒定、晶體光學(xué)特性的分析和巖石薄片的鑒定等各種研究，都得益于穩(wěn)定的顯微鏡系統(tǒng)性和精密的光學(xué)系統(tǒng)。

BX53M正像鏡檢偏光配置     BX53M錐光鏡檢偏光配置

用于錐光鏡檢和正像鏡檢的勃氏鏡

采用U-CPA錐光觀(guān)察附件使錐光鏡檢和正像鏡檢之間的切換簡(jiǎn)單而快捷。可以清晰地對(duì)焦后焦平面的干涉圖樣。勃氏鏡的視場(chǎng)光闌使其能夠始終獲取銳利而清晰的錐光圖像。

偏光附件

無(wú)應(yīng)力光學(xué)元件

UPLFLN-P無(wú)應(yīng)力物鏡得益于奧林巴斯的設(shè)計(jì)和制造技術(shù)，將內(nèi)部應(yīng)力降到了低。這就意味著更高的EF值，從而可以得到的圖像反差。

UPLFLN-P無(wú)應(yīng)力物鏡

種類(lèi)豐富的補(bǔ)色器和波長(zhǎng)板

提供了六種不同的補(bǔ)色器，用于測(cè)量巖石和礦物薄片的雙折射。測(cè)量光程差水平范圍從0到20λ。針對(duì)更方便的測(cè)量和高圖像反差，可以使用Berek和Senarmont補(bǔ)色器，它們能在整個(gè)視場(chǎng)內(nèi)改變光程差級(jí)別。

補(bǔ)色器的測(cè)量范圍

* R=光程差水平

對(duì)于大多數(shù)精確測(cè)量，建議補(bǔ)色器（除U-CWE2以外）與干涉濾色片45-IF546組合使用。

BXFM系統(tǒng)

BXFM適合于特殊應(yīng)用，或整合進(jìn)其它儀器中。模塊化結(jié)構(gòu)，再加上各種特殊的小型照明器和固定裝置，使其可以直接用于*的環(huán)境和配置。

模塊化設(shè)計(jì)，構(gòu)建自己的系統(tǒng)

顯微鏡機(jī)架

兩種顯微鏡機(jī)架可用于反射光；一種還具有透射光觀(guān)察能力。同時(shí)配備了一個(gè)適配器，以抬升照明器，適應(yīng)更高的樣品。

支架

兩種顯微鏡機(jī)架可用于反射光；一種還具有透射光觀(guān)察能力。同時(shí)配備了一個(gè)適配器，以抬升照明器，適應(yīng)更高的樣品。顯微鏡檢查時(shí)如果樣品不適合放在載物臺(tái)上，可以在更大的支架上或其它設(shè)備上安裝照明器和光學(xué)元件。

BXFM + BX53M照明器配置

BXFM + U-KMAS照明器配置

鏡筒

使用目鏡進(jìn)行顯微鏡成像，或通過(guò)相機(jī)觀(guān)察時(shí)，請(qǐng)根據(jù)觀(guān)察過(guò)程中的成像類(lèi)型和操作者的觀(guān)察姿勢(shì)選擇鏡筒。

照明器

照明器根據(jù)選擇的觀(guān)察方法將光線(xiàn)投射到樣品上。軟件與編碼照明器配套使用，可以讀出分光鏡組件的位置，并自動(dòng)識(shí)別觀(guān)察方法。

光源

用于樣品照明的光源和電源，請(qǐng)根據(jù)觀(guān)察方法選擇合適的光源。

標(biāo)準(zhǔn)LED光源配置

熒光光源配置

鹵素?zé)艉望u素IR光源配置

物鏡轉(zhuǎn)換器

物鏡和滑塊的附件。選擇所需的物鏡數(shù)量和類(lèi)型；以及是否帶滑塊附件。

滑塊

選擇DIC滑塊來(lái)補(bǔ)充常規(guī)的明場(chǎng)觀(guān)察。采用DIC滑塊后，在獲取有關(guān)樣品的形貌信息時(shí)，可以選擇高對(duì)比度型或高分辨率型。MIX組合式照明使用起來(lái)非常靈活，它在暗場(chǎng)光路中提供了分區(qū)的LED光源。

用于MIX組合式觀(guān)察的MIX滑塊

控制盒與手動(dòng)控制器

控制盒用于組合使用顯微鏡硬件與PC，手動(dòng)控制器用于硬件狀態(tài)顯示與控制

BX3M-CB（CBFM）配置

U-CBS配置

電纜

載物臺(tái)

用于放置樣品的載物臺(tái)和載物臺(tái)板。根據(jù)樣品形狀和尺寸進(jìn)行選擇。

150mm×100mm載物臺(tái)配置

100 mm×100 mm載物臺(tái)配置

52mm×76mm載物臺(tái)配置

其它

相機(jī)適配器

用于照相觀(guān)察的適配器?？蓮囊蟮囊曇昂头糯蟊堵手羞x擇。使用以下公式可以計(jì)算實(shí)際的觀(guān)察范圍：實(shí)際視野（對(duì)角線(xiàn)mm）= 視野（視場(chǎng)數(shù)）÷物鏡放大倍率。

目鏡

用于直接觀(guān)察顯微鏡的目鏡。根據(jù)所需的視野進(jìn)行選擇。

濾色片

光學(xué)濾色片可以將照射到樣品的光線(xiàn)進(jìn)行各種類(lèi)型的轉(zhuǎn)換。根據(jù)觀(guān)察需要選擇合適的濾色片。

BF, DF, FL

POL, DIC

IR

透射光

使用BX3M-RLAS-S和U-FDICR時(shí)不需要AN和PO

其它

聚光鏡

聚光鏡能會(huì)聚和聚焦透射光線(xiàn)。用于透射光觀(guān)察。

分光鏡組件

用于BX3M-URAS-S的分光鏡組件。根據(jù)所需的觀(guān)察進(jìn)行選擇。

* 僅用于同軸反射照明

中間鏡筒

用于多種目的的各種類(lèi)型的附件。在鏡筒與照明器之間使用。