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半導(dǎo)體微量光子檢測顯微鏡 微光顯微鏡是捕獲半導(dǎo)體器件缺陷或失效點(diǎn)發(fā)射 微量光子的一種無損檢測設(shè)備。在電激勵作用下，電 子-空穴對或高能熱載子以光子的形式釋放出多余動 能。根據(jù)此原理，利用高增益低噪聲的相機(jī)就能精確 定位到缺陷位置。EMMI系統(tǒng)C主要適用于PN結(jié)漏電、氧化層崩潰、 靜電放電破壞、閂鎖效應(yīng)、碰撞電離和雪崩擊穿等多 種物理場景。
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